| DISSERTAÇÃO DE MESTRADO |
Título Original (PT): |
PREPARAÇÃO DE FILMES POLICRISTALINOS DE GAN PELA TÉCNICA DE SPUTTERING REATIVO A BAIXAS TEMPERATURAS DE SUBSTRATO |
Autor: |
DE CARVALHO, ADRIANO VIEIRA |
Email: |
carvalho@fc.unesp.br |
Instituição: |
UNIVERSIDADE ESTADUAL PAULISTA JÚLIO DE MESQUITA FILHO (UNESP) - BRASIL |
Unidade: |
FACULDADE DE CIÊNCIAS (FC) - BAURU - SP |
Local de Publicação: |
BAURU |
Data de Publicação: |
2009 |
Área: |
MULTIDISCIPLINAR |
Área de Concentração: |
MATERIAIS |
Titulação: |
MESTRE(A) EM MATERIAIS |
Orientador: |
Dr. SILVA, JOSE HUMBERTO DIAS DA |
Banca Examinadora: |
♠ Drª. CARACELLI, IGNEZ
♠ Dr. SILVA, JOSE HUMBERTO DIAS DA
♠ Dr. GUIMARÃES, FRANCISCO EDUARDO GONTIJO
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Data de Defesa: |
23/06/2009 |
Palavras-Chave (PT): |
♠ ALVO
♠ GAN
♠ POLICRISTALINO
♠ SPUTTERING
♠ TEMPERATURA DE SUBSTRATO
♠ TEXTURA
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Resumo Original (PT): |
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DESCREVE-SE A PREPARAÇÃO DE VÁRIAS AMOSTRAS DE FILMES FINOS DE NITRETO DE GÁLIO (GAN),
DEPOSITADOS SOBRE DIFERENTES TIPOS DE SUBSTRATOS PELA UTILIZAÇÃO DA TÉCNICA DE RFMAGNETRON
SPUTTERING REATIVO, UTILIZANDO-SE ATMOSFERA DE NITROGÊNIO (N2) COM DIFERENTES
TEMPERATURAS DE SUBSTRATO (< 400°C). AS AMOSTRAS FO RAM CARACTERIZADAS
ESTRUTURALMENTE PELO USO DA TÉCNICA DE DIFRAÇÃO DE RAIO-X (DRX), PERMITINDO A OBTENÇÃO
DE INFORMAÇÕES SOBRE TAMANHOS DE CRISTALITO, PADRÕES DE TEXTURAÇÃO E PARÂMETROS DE
REDE. A OCORRÊNCIA DE TEXTURA DE ORIENTAÇÃO BEM DEFINIDA E A RELAÇÃO DESTA COM AS
CONDIÇÕES DO ALVO UTILIZADO SÃO ANALISADAS NO TRABALHO. |
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Título (EN): |
ENGLISH |
Palavras-Chave (EN): |
♠ GAN
♠ POLICRISTALLINE
♠ SPUTTERING
♠ SUBSTRATE TEMPERATURE
♠ TARGET
♠ TEXTURE
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Resumo Original (EN): |
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THE PREPARATION OF SEVERAL SAMPLES OF GALLIUM NITRIDE (GAN) THIN FILMS, DEPOSITED ONTO
DIFFERENT KINDS OF SUBSTRATES BY REACTIVE RF- MAGNETRON SPUTTERING, IN PURE NITROGEN
(N2) ATMOSPHERE WITH DIFFERENT SUBSTRATE TEMPERATURES (< 400°C) IS DESCRIBED. THE
SAMPLES WERE STRUCTURALLY CHARACTERIZED BY THE USE OF X-RAY DIFFRACTION, ALLOWING OBTAIN OF
INFORMATION ABOUT CRISTALITE SIZE, TEXTURE PATTERN, AND LATTICE PARAMETERS.
THE OCCURRENCE OF ORIENTATION TEXTURE AND ITS RELATIONSHIP WITH TARGET CONDITIONS ARE
ANALYSED. |
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Arquivo: |
DIS_MEST20090623_DE CARVALHO ADRIANO VIEIRA.pdf
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Tamanho: |
1141 Kb (1141528 bytes)
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Tempo Estimado Para Download: |
1 MINUTO(S) (VELOCIDADE DE CONEXÃO DE 56 Kb/s)
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Criado: |
27/08/2009 ÀS 17:15:26 |
Atualizado: |
27/08/2009 ÀS 17:15:26 |
Visitas: |
1452 |
Última Visita em : |
04/05/2024 ÀS 05:43:46 |
Downloads: |
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Último Download em : |
20/05/2017 ÀS 01:50:32 |
